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发布时间:2022-02-11 16:02:00 作者:沈阳鹏程
长方形一体成型腔室
超高真空(UHV)是一门精密技术的艺术,各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的超高真空(UHV)腔体(箱体),或以超高真空传输系统进行链接,Htc日扬真空在超高真空(UHV)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对超高真空(UHV)腔体(箱体)进行精密的设计,能满足配合客户实验上的各种质量及性能要求。
1. 腔体常规材质:不锈钢304,可定制不锈钢316、316L腔体;
2. 腔体可根据需求设有快开进样门,铰链机构,移动灵活,快开门密封件材质采用氟橡胶;
3. 法兰接口、腔体大小根据客户需求定制;
4. 腔室内外***超声波清洗,表面清洁;
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合适的真空系统,真空度可进入10-6Pa;
7. 供货周期:确认方案后5到6周;
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司***生产长方形一体成型腔室产品,欢迎新老客户莅临。
真空腔体制造技术介绍
真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。
复杂的真空腔体通常需要定制,即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计,如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境,可用于焊接,或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。
真空腔体的主要作用
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真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%——20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用广泛。
真空腔体的焊接原则
超高真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。
真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150——250℃的高温烘烤,以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
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