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沈阳鹏程真空技术有限责任公司

主营: 电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束

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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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沈阳鹏程公司-激光分子束外延设备公司-激光分子束外延设备

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:478639024                    更新时间:2022-02-11
沈阳鹏程真空技术有限责任公司

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  • 主营业务:电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束
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  • 供货总量 : 不限
  • 价格说明 : 议定
  • 包装说明 : 不限
  • 物流说明 : 货运及物流
  • 交货说明 : 按订单

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

* pocket电子

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源,杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测,可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台,提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门,便于放片/取片

* PC全自动控制,具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

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电子束镀膜机部件介绍

镀膜室:

采用立式、前开门结构,外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢, 厚度≥1 mm),镀膜室及前开门材质:304真空不锈钢,激光分子束外延设备哪家好,镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术;焊接完成后,镀膜室(包括抽气管道、连接法兰等)均进行内表面抛光,外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理,以减少出气量。

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电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子控制Ⅰ和电子控制Ⅱ电源:按电子控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮,三分钟后延迟 及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。

3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,激光分子束外延设备多少钱,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。

如需了解更多电子束的相关内容,欢迎拨打图片上的热线电话!

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