沈阳鹏程公司-激光分子束外延设备公司-激光分子束外延设备

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* PC全自动控制，具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

以上就是为大家介绍的全部内容，激光分子束外延设备公司，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空不锈钢， 厚度≥1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空不锈钢，激光分子束外延设备哪家好，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。

以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，激光分子束外延设备，希望对同行业的朋友有所帮助！

电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子控制Ⅰ和电子控制Ⅱ电源：按电子控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，激光分子束外延设备多少钱，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

如需了解更多电子束的相关内容，欢迎拨打图片上的热线电话！