定制真空腔体厂家常用解决方案「沈阳鹏程」

非标定制各种真空腔体

1.腔体常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体，弧焊接，表面特殊工艺,抛光处理,外表美观，

2.按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；

3.提供该设备的技术检测报告；

4. 腔体设有快开进样门，铰链机构，移动灵活，快开门密封件材质采用氟橡胶；

5. 法兰接口、腔体大小根据客户需求定制；

6. 腔室内外***超声波清洗，表面清洁；

6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

8. 配合适的真空系统，真空度可进入10-6Pa；

9. 供货周期：确认方案后5到6周；

以上就是真空腔体加工的相关内容介绍，如有需求，欢迎拨打图片上的热线电话或关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司！

真空腔体——焊接工艺介绍

目前，超高真空容器普遍采用不锈钢。真空腔体应该讲，不锈钢的可焊性和焊接工艺性是良好的，为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求呢?其原因是超高真空容器要求泄漏率很低，也带来对焊缝密封性的苛刻要求，微小的泄漏难检、难补、难消除。实践证明，非超高真空容器通常采用压力检漏法不能满足超高真空容器漏率的要求，亦即在压力检漏检不出漏点的情况下，采用氦质谱检漏，仍可能发现漏孔，达不到漏率要求。因此对超高真空容器来讲，须采用高灵敏度的氦质谱进行检漏。

为保证焊缝满足超高真空容器漏率的要求，针对不锈钢，焊接工艺上主要应解决两个问题，

一是防止热裂纹的产生，其产生机理是在焊缝一次结晶中，低熔点共晶物聚积在焊缝中心线处，在热应力的作用下形成。同时真空腔体应防止碳化物形成，造成脆硬组织裂纹。

二是尽可能减少焊接缺陷的产生。

真空腔体概述

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。

脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、血液、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。

辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。

基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。

真空腔体中抽气管道的设计原则

工艺室的抽气速率将低于泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。

显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。

我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(S)可用抽气管道流导(C)和应用泵速(Sp)计算，如下所示：

S = (Sp*C)/(Sp+C)

当C远远大于Sp时，则S近似为Sp；当Sp远远大于C时，则S近似为C。真空腔体

工艺室的抽气速率始终低于应用泵速而且低于抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。

在某种程度上管道短而粗是好的

采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法，但只限于当抽气速度S接近泵速(Sp)极值的情况。

除此之外，通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率；换而言之，如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加，当(S)接近管道流导(C)极值，一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。